Nenhuma etapa especial é necessária para compilar o ClickHouse para AArch64 em uma máquina com AArch64.
Para fazer a compilação cruzada do ClickHouse para AArch64 em uma máquina Linux x86, passe a seguinte flag para o cmake: -DCMAKE_TOOLCHAIN_FILE=cmake/linux/toolchain-aarch64.cmake